| 製品名 | 位置検出方式 | 直結センサ | 指令(上位) | サーボサイクル | サーボ出力 | 出力分解能 | アナログ入力 | アナログ分解能 | 
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| MELSEC-Qビルトイン、パルスエンコーダ直結型 ※生産終了予定 | ||||||||
| インクリメンタル | A/B/Z相パルス | MELSEC-Q ビルトイン | 5kHz | 電圧(±10V) 電流(±50mA) | -30,000~ +30,000 (フルスケール) | 2ch入力 電圧(±10V) 電流(±20mA) | -30,000~ +30,000 (フルスケール) | |
| MELSEC-Qビルトイン、耐環境インナーセンサ直結型 ※生産終了予定 | ||||||||
| セミ アブソリュート | GMR2 GMR3 | MELSEC-Q ビルトイン | 5kHz | 電圧(±10V) 電流(±50mA) | -30,000~ +30,000 (フルスケール) | 2ch入力 電圧(±10V) 電流(±20mA) | -30,000~ +30,000 (フルスケール) | |
| MELSEC-Qビルトイン、磁歪式変位センサ直結型 ※生産終了予定 | ||||||||
| アブソリュート | GYセンサ | MELSEC-Q ビルトイン | 5kHz | 電圧(±10V) 電流(±50mA) | -30,000~ +30,000 (フルスケール) | 2ch入力 電圧(±10V) 電流(±20mA) | -30,000~ +30,000 (フルスケール) | |