


| 有効ストローク | ±3mm~±150mm |
|---|---|
| 励磁電圧 | 2.2Vrms標準 |
| 励磁周波数 | 400Hz~15kHz(標準3500Hz) |
| 消費電力 | 10mW以下 |
| 非線形性 | ±0.25%FS以下(±0.1%FS:オプション) |
| 分解能 | 理論的無限小 |
| 残留電圧 | 0.5%FS以下 |
| 使用温度範囲 | -40~+125℃(~+200℃:オプション) |
| 感度温度特性 | 500ppm/℃以下(150ppm/℃:オプション) |
| 耐衝撃 | 1000G/5ms |
| 耐振動 | 12G |
| 耐電圧 | 500VDC/1分間 |
| 絶縁抵抗 | 1MΩ以上 |
| 保護規格 | IP65(耐圧350bar:オプション) |
